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超精密ディンプリンググラインダー Model200

超精密ディンプリンググラインダー Model200

仕様

グラインディング制御:
  • グラインディング速度の自動制御
  • カウンターウェイト方式によるグラインディング加重の調整
  • グラインディングホイールと試料ステージの回転を独立して制御
試料ステージ:
  • 高精度で回転
  • 磁気マウントの採用により試料の位置調整が簡単
ユーザーインターフェース:
  • フロントパネルに配置されたキーパッドからの入力
  • 液晶ディスプレイへの表示
試料照明:
  • 透過光または反射光を用いた試料の観察
装置サイズ:
  • 重量:8.2kg
  • 寸法:幅208mm×高さ165mm×奥行343mm
電源:
  • 電圧:100VAC, 50/60Hz
  • 消費電力:375W

特徴

イオンミリングの前加工として最適:

イオンミリングの前に、超高精度ディンプリンググラインダーModel200で試料を予め薄く削ります。
ミリング時間を短縮出来ると共に、表面欠陥や照射損傷のない均一な厚みの試料を作成出来ます。

高い汎用性:

ホイールを交換するだけで、フラットグラインディング、ディンプリング、ポリッシングを行うことが出来ます。

高精度の位置調整:

試料を配置し、回転させる試料ステージは、ディンプリンググラインダーの性能を決める重要な要素です。
試料を低融点樹脂などでプラテン上部に取付け、回転ステージと磁力で結合したマグネットベースに装着します。
マグネットベースは付属の40倍顕微鏡を利用して正確に位置決めする事が可能で、グラインディングホイールに対して最適な位置に配置出来ます。
プラテンの奪着が容易な為、一時的に取り外して試料の観察を行い、再び取付けてグラインディングを継続する事も可能です。
試料ステージの回転スピードは、フロントパネルにあるポテンショメーターを回すことで、連続的に変更出来ます。

超精密ディンプリンググラインダー Model200

グライディングの最適化:

試料にダメージを与えずに効率的な加工を行う為に、グラインディングホイールの下降速度を電子制御で最適化しています。
この制御により、試料の厚さを正確にコントロール出来ます。
グラインディングホイールは均一に摩耗する為、ホイールに起因する振動の発生を防ぎ、試料が砕ける心配はありません。
研磨終了時にはグラインディングホイール及び回転ステージの回転が自動的に停止し、グラインディングホイールは所定の位置まで上昇します。

振動のないグラインディング:

奪着式のグラインディングホイールは回転シャフトに正確にフィットし、偏心を最小限に抑えます。
先進的なベアリング技術、独自の回転駆動システムの採用により、実質的にホイールの振動はありません。
グラインディングホイールの回転速度はポテンショメーターで連続的に変更出来ます。
下記のようなさまざまな種類のホイールの取り付けが可能です。

  • 高速グラインディング用ホイール
  • 仕上げ用研磨ホイール
  • さまざまな形状を持つディンプリングホイール

用途に応じて、さまざまな材質のホイールを御利用頂けます。

グラインディング加重/グラインディング速度の制御:

グラインディングホイールステージは旋回式となっており、試料を取り付ける際には直立させ、グラインディングを行う際には横に倒します。
ステージ後部にマイクロメーター付カウンターウェイトが付いており、グラインディング時の加重を調整出来ます。
グラインディング加重、グラインディング速度のコントロールにより、高品質の試料を作成出来ます。

簡単プログラミング:

フロントパネルに配置されたキーパッドを使い、プログラムを作成します。
液晶画面に表示される案内に従うだけで、素早く簡単にプログラミングを行えます。
ディンプリング中は、その時々のステータスが随時表示されます。
高さ方向のゼロ点は、プラテン表面にするか試料表面にするかを選択出来ます。
プラテン表面をゼロ点にすれば、指定された厚さまでサンプルを薄くし、試料表面をゼロ点にすれば、指定された厚みだけサンプルを除去します。

超精密ディンプリンググラインダー Model200

自動終了:

予め設定した試料の厚さ(または除去量)になるとディンプリングは終了します。
実行中のプロセスは、任意のタイミングで一時停止または終了させることが可能です。
実行中は、現在の試料の厚さが常に液晶画面に表示されます。
設定時間が経過するまでディンプリングを継続するモードも選択出来ます。

試料の観察:

中心部が透明になっているプラテンを利用すれば、試料ステージ下部に配置されたライトの透過光を観察出来ます。
透過光の強さは、観察に適する明るさに調整出来ます。
シリコンサンプルの場合、試料の厚さが電子透過レベルまで薄くなると、透過光の色が変化する為、この機能は特に重要です。
高輝度ランプによる反射式照明も利用出来ます。
40倍光学顕微鏡が標準で付属していますので、試料を外さなくてもその場で観察が行えます。

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