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コンタミネーション除去装置 プラズマクリーナー Model1020

コンタミネーション除去装置 プラズマクリーナー Model1020

仕様

プラズマシステム:
  • 高周波振動磁場(13.56MHz)システム(クオーツ/ステンレス製チャンバー)
  • イオンエネルギー12eV以下
  • 各種TEMホルダーに対応
    対応メーカー:FEI、Hitachi High Technologies、JEOL、Carl Zeiss、Topcon
真空システム:
  • ターボ分子ポンプ及びダイヤフラムポンプ(オイルフリー)
  • 最高真空度1×10-7mbar
ガス:
  • アルゴン酸素(アルゴン:75%、酸素:25%)
  • 供給圧力:200kPa(標準値)
サイズ:
  • 重量:60.6kg
  • 寸法:幅590mm×高さ520mm×奥行590mm
ユーザーインターフェース:
  • 真空のON/OFF、プラズマのON/OFF、タイマーの設定を単一のキーパッドから操作
  • タイマーによる自動終了
  • サービスパネルから内部設定値の変更が可能
電源:
  • 電圧:100VAC, 50/60Hz
  • 消費電力:660W

特徴

電子顕微鏡観察に求められるクリーンな試料:

電子顕微鏡による観察では、クリーンで良質な試料の準備が必要不可欠です。
近年、LaB6フィラメントや電解放出型の高輝度電子銃の採用により、電子ビーム径は細く、電流密度は大きくなり、高解像度でのTEM観察、TEM分析が可能になりました。
一方、試料汚染の問題はますます顕著となり、より良質な試料、よりクリーンな試料及びホルダーが求められるようになっています。

試料及びホルダーのクリーニング:

電子顕微鏡観察を行う直前にModel1020プラズマクリーナーによるクリーニングを実施して下さい。
試料についた炭素質の汚れを効率的に除去すると共に、観察または分析中に新たな汚れが発生することを抑制出来ます。
チャンバー内に発生する高周波誘導結合プラズマはエネルギーが十分低く(12eV以下)、試料の組成及び構造を変える心配がありません。
汚れのひどい試料でも、2分以下のクリーニング時間で十分な効果が得られます。

各種ホルダーに対応:

あらゆるメーカー製のサイドエントリー試料ホルダー用のポートを御利用頂けます。
ポートの交換は10秒程度で行え、道具の必要はありません。

炭素を多く含む試料や炭素製グリットに試料を固定している場合には、シールド型試料ホルダーポートを御利用頂けます。
試料をシールドする事で、プラズマの働きを最適化します。

専用の試料ホルダーを利用することで、SEMや表面観察用のバルク試料のクリーニングにもご利用頂けます。
例えば、アパチャー、試料クランプリング、SEM用試料ホルダーなどのクリーニングも行えます。

コンタミネーション除去装置 プラズマクリーナー Model1020

TEM用試料ホルダーポート

コンタミネーション除去装置 プラズマクリーナー Model1020

シールド型試料ホルダーポート

コンタミネーション除去装置 プラズマクリーナー Model1020

SEMスタブ用マルチ試料ホルダー

コンタミネーション除去装置 プラズマクリーナー Model1020

バルク試料用クランプフリップホルダー

コンタミネーション除去装置 プラズマクリーナー Model1020

TEM試料用マルチ試料ホルダー


オプション

真空保管容器 Model 9010:

プラズマクリーニングを実施した試料ホルダーをModel9010真空保管容器に入れれば、試料ホルダーの保管または移動を真空下で行えます。
容器にはガラス窓が付いており、試料エリアを外部から観察することが可能です。

コンタミネーション除去装置 プラズマクリーナー Model1020

Model9010 真空保管容器


真空保管ステーション Model 9020:

最大5本の試料ホルダーを真空下に保管出来ます。横滑り防止を施した頑丈な金属製ベースプレートを土台とし、5つの独立バルブ式保管容器、真空用マニホールド、その他プラズマクリーナー本体への接続に必要なパーツを全て含んでおります。

コンタミネーション除去装置 プラズマクリーナー Model1020

Model9020 真空保管ステーション


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