株式会社 ニューメタルス エンド ケミカルス コーポレーション

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ダイヤモンドワイヤー

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Diamond Wire Material Technologies社製ダイヤモンドワイヤー

ダイヤモンドワイヤー

Diamond Wire Material Technologies社(DMT社)では、独自の手法によって高品質・長寿命のダイヤモンドワイヤーを長年に渡り製造しております。
140μm~420μmとさまざまな線径のダイヤモンドワイヤーを取り扱っておりますので、用途に応じて最適なワイヤーをお選び頂くことが出来ます。
従来のスラリー方式による切断からの切り替え、またはよりパフォーマンスの高いダイヤモンドワイヤーをお探しの場合には、是非お試し下さい。

取扱いワイヤー一覧
140μm 200μm 250μm 310μm 350μm 420μm
線経 143-149 199-206 247-255 310-322 360-370 405-420
ピッチ(mm)※ 0.6-1.2 0.6 0.6 0.6 0.6 0.6
ワイヤーテンション(巻付け時) 9N 9N 25N 9N 35N 35N
重さ(g/m) 0.122-0.132 0.221-0.232 0.338-0.351 0.214-0.225 0.669-0.757 0.902-0.982
破断力(N) >40 >57 >75 >102 >146 >222

※スプールの種類および用途に依存します

サファイア及び光電子材料向けダイヤモンドワイヤー

ダイヤモンドワイヤー

クロッピング用ダイヤモンドワイヤー

ワイヤー線径
  • 310μm/350μm
利点
  • 切断速度の向上
  • 高い歩留まり率
  • 加工工程の簡易化
  • 高い生産性
  • 後処理の簡易化
クロッピング切断例
パラメーター サファイアインゴット/クロッピング
線径: 310μm
切断速度: 0.8mm/分-2mm/分
ワイヤーテンション: 35N

ウェハリング用ダイヤモンドワイヤー

ワイヤー線径
  • 200μm/250μm
利点
  • 切断速度の向上
  • 処理能力の向上
  • TV5の改善
  • Bow(バウ)やWarp(ワープ)の低減
  • 面粗さRaの改善
  • 結晶方位の改善
  • 加工工程の簡略化
  • 後処理の簡易化
柔軟なサポート体制
  • Meyer Burger社製および他社製のあらゆるワイヤーソーでの使用が可能
  • スタートアップキットの利用が可能
  • プロセス/アプリケーションエンジニアがオンサイトでサポート

ダイヤモンドワイヤー

50mm / 2インチ 切断例
パラメーター サファイア/C面
線径 200μm 250μm
ワイヤー線速 12m/秒 12m/秒
ワイヤーテンション 32N 35N
切断時間 180分 150分

ダイヤモンドワイヤー

100mm / 4インチ 切断例
パラメーター サファイア/C面
線径 250μm
ワイヤー線速 12m/秒
ワイヤーテンション 35N
切断時間 510分

ダイヤモンドワイヤー

150mm / 6インチ 切断例
パラメーター サファイア/C面
線径 250μm
ワイヤー線速 9m/秒
ワイヤーテンション 35N
切断時間 1440分

ダイヤモンドワイヤー

200mm / 8インチ 切断例
パラメーター サファイア/C面
線径 250μm
ワイヤー線速 9m/秒
ワイヤーテンション 35N
切断時間 2880分

品質管理

  • 徹底したプロセス管理
    • 全ワイヤーの線径管理
    • 全てのロットに対して品質証明を発行
  • スプールに巻きつけた状態でワイヤー供給するため、装置への取り付けが簡単
    • “Load & Go”(巻き直し不要)

消耗品

  • 用途に特化した切削液
    • WaferKool 2010
    • WaferKool 3010(防錆剤を配合)
  • 消泡剤
    • SAG 2001
  • 装置洗浄液
    • Saw Clean

ワイヤーデータ

標準線径
(μm)
切り代
(μm)
用途
(μm)
A 140 150 シリコン ウエハリング
B 200 210 サファイア ウエハリング
C 250 270 サファイア ウエハリング
D 310 340 サファイア クロッピング
E 350 385 サファイア クロッピング
F 420 - シリコン ブリッキング

ダイヤモンドワイヤー

太陽電池向けダイヤモンドワイヤー

ダイヤモンドワイヤー

ウェハリング用ダイヤモンドワイヤー

ダイヤモンドワイヤー

ダイヤモンドワイヤー

ダイヤモンドワイヤー線径
  • 芯線:120μm、外径:140μm
利点
  • 切断速度の向上
  • トータルコストの削減
  • 高い投資収益率
  • 平面度の高いウェハー
  • 加工工程の簡略化
  • シリコンリサイクルの可能性
  • 高い生産性
  • 後工程にかかるコストの低減
柔軟なサポート体制
  • Meyer Burger社製および他社製のあらゆるワイヤーソーでの使用が可能
  • Meyer Burger社のアップグレードキットの利用が可能
  • スタートアップキットの利用が可能
  • プロセス/アプリケーションエンジニアによるオンサイトサポート

ダイヤモンドワイヤー

140μmダイヤモンドワイヤーで切断した800mm長の太陽電池ウェハー

ウェハリング時の処理能力比較※
性能 スラリー ダイヤモンドワイヤー
切断速度 <例> 0.42mm/分 <例> 1.0mm/分
切断速度-156mm×156mm 6.8時間 3.6時間
切断速度-125mm×125mm 5.6時間 2.6時間
処理能力-156mm×156mm 6500枚/日 13800枚/日
処理能力-125mm×125mm 7800枚/日 16100枚/日
誘導熱 40-60°C <20°C

※使用装置=DS264;インゴットの長さ=800mm;ウェハーの厚さ=0.180mm;(芯線)ワイヤー径=0.120mm

ブリッキング / スクエアリング / クロッピング用ダイヤモンドワイヤー

ダイヤモンドワイヤー

ダイヤモンドワイヤー

ダイヤモンドワイヤー

ブリッキング/スクエアリング用
  • 芯線:250μm、外径:350μm
  • 芯線:300μm、外径:420μm
クロッピング用
  • 芯線:200μm、外径:310μm
利点
  • 切断速度の向上
  • 高い切断精度
  • 安定したプロセス
  • 少ない切り代
  • スラリー利用に比べて低コスト
  • 既存のスラリーソーからの変更が可能
ダイヤモンドワイヤーによる切断例※
フリックの仕様 多結晶シリコン 単結晶シリコン
フリックサイズ 156.7mm×156.7mm 156.7mm×156.8mm
ダイヤモンドワイヤー径 420μm 420μm
歩留まり 95%(2) 95%(1)
フリックサイズの公差 ±0.35mm(2) ±0.3mm(1)
フリックの平行度 0.35mm(2) 0.3mm(1)
平坦度 <0.35mm(2) <0.3mm(1)
角度精度 90°±0.1° 90°±0.1°
面精度 Ra≤3μm Ra≤3μm

※Meyer Burger社製 Burick Master BM860
(1)このスペックは最大300mmの高さのインゴットにまで有効です
(2)インゴットの品質により影響を受ける可能性があります

品質管理

  • 徹底したプロセス管理
    • 全ワイヤーのテンションテスト
    • 全ワイヤーの線径管理
    • 全てのロットに対して品質証明を発行
  • スプールに巻きつけた状態でワイヤーを供給するため、装置への取り付けが簡単

消耗品

  • 用途に特化した切削液
    • ウェハリング用:Synergy DWS 500 / DWS 510
    • ブリッキング用:Synergy DWS 200
  • 装置洗浄液
    • Saw Clean
  • ビーム
    • DMT 710

ワイヤーデータ

標準線径
(μm)
切り代
(μm)
用途
(μm)
A 140 150 シリコン ウエハリング
B 200 210 サファイア ウエハリング
C 250 270 サファイア ウエハリング
D 310 340 サファイア クロッピング
E 350 385 サファイア クロッピング
F 420 - シリコン ブリッキング

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