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科学機器・機材

電子顕微鏡用装置

FIB後処理用イオンミリング装置 ナノミル Model1040

FIB(集束イオンビーム)により作製されたTEM試料に対する、後処理用ミリング装置です。FIBを用いて試料を作製すると、表層のアモルファス化やガリウムの注入を生じることが多くあり、このようなダメージ層は10nm~30nmになることもあります。ナノミルは、このよなダメージ層の除去に最適な装置です。SED(2次電子検出器)により試料の画像を取得し、目的のスポットのみをピンポイントでイオンミリング出来ますので、リデポ(再堆積)の発生も防げます。

TEM用イオンミリング装置 TEM Mill Model1051

ダメージのない高品質の透過型電子顕微鏡(TEM)用試料を作製するためのイオンミリング装置です。特許技術のTrueFocusイオン源は、広範な加速電圧に対して細いビーム径を維持します。イオンビームの加速電圧は100eV~10keVの範囲で、ミリング角度は-15°~+10°の範囲で任意に設定出来ますので、試料の高速ミリングから最終ポリッシングまであらゆる工程でご利用頂けます。ロードロック機構(予備排気室)を搭載しており、試料の出し入れを迅速に行うことが可能です。液体窒素冷却システム、ミリング位置微調整ホルダー、真空封入移動カプセルなど、オプション群も充実しています。

SEM用イオンミリング装置 SEM Mill Model1061

ダメージのない高品質の走査型電子顕微鏡(SEM)用試料を作製するためのイオンミリング装置です。2つのイオン源を装備しており、2方向からの高速ミリングが可能です。サンプル位置の自動検出機能を搭載しており、あらゆる高さのサンプルに対してステージ位置を自動調整します。オプションの断面試料用ローディングステーションを用いれば、ミリング位置と遮蔽マスクを正確にアラインメントできる為、高品質の断面試料が作成できます。フォーカス調整によりビーム径の調整が出来ることも特徴で、あらゆるサンプル、あらゆる用途に対して最適なイオンミリングを行えます。

自動サンプル前処理システムASaP Model1030

走査型電子顕微鏡(SEM)用の試料を作製する際に必要な4つの機能、1.プラズマクリーニング、2.イオンビームエッチング、3.反応性イオンエッチング、4.スパッタリングコーティングを一台に収めた装置です。プラズマクリーニングは、試料から有機物によるコンタミネーションを除去する機能です。イオンビームエッチングは試料表面の欠陥を除去し、平坦化する機能です。反応性イオンエッチングは試料に含まれる特定の成分を選択的にエッチングする機能です。スパッタリングコーティングは、様々なターゲットにイオンビームを当てて、試料表面をそのターゲットでコーティングします。一連の工程を同一装置内で行うことで、試料作製の効率を上げることが可能になります。

ツインジェット電解研磨装置 Model110

透過型電子顕微鏡(TEM)で導電性の試料を観察する場合、電解研磨装置を用いることが最も効率的です。ツインジェット電解研磨装置は、対になった電解質溶液の流れが試料の両面を均等に研磨し、アーチファクトのない薄片試料を数分間で作製します。電解質溶液の流れ、研磨電圧、終了検知感度、試料位置などの設定事項は、容易に変更が可能です。

超音波ディスクカッター Model170

超音波ディスクカッターは、ダメージを与えずに、硬くて脆い試料から透過型電子顕微鏡(TEM)用試料を切り出す装置です。厚さ10mm程度の試料から、円板状の標本を切り出すことや、ある大きさを持った固まりから長さ10mm以下の円柱試料を切り出すこと、あるいはXTEM用試料を作製する際に使用される四角形のウェハーを切り出すことが出来ます。

超精密ディンプリンググラインダー Model200

透過型電子顕微鏡(TEM)用の薄片試料を作製するための機械研磨装置です。グラインディングホイールと試料ステージの双方を回転させることで、試料の中心部分のみを数μmの厚さまで研磨することが可能です。ディンプリンググラインダーで試料をある程度まで薄くすることにより、イオンミリングを行う時間を短縮することが出来ます。試料作製の最終段階としてイオンミリング装置を使用する場合には、必要不可欠な装置です。

コンタミネーション除去装置 プラズマクリーナー Model1020

電子顕微鏡用の試料およびホルダーから、有機物による汚染物質(コンタミ)を除去します。低エネルギーの反応性プラズマの働きにより、試料の組成や性質を変えることなく、有機物質のみを除去することが可能です。プラズマクリーナーをごく短時間使用するだけで、コンタミのないクリーンな試料を得ることが出来ます。

コンタミネーション除去装置 ナノクリーン Model1070

電子顕微鏡用の試料およびホルダーから、有機物による汚染物質を除去します。低エネルギーの反応性プラズマの働きにより、試料の組成や性質を変えずに、有機物質のみを除去することが可能です。2つのホルダーの同時挿入、半導体ウェハーのような大型試料の処理にも対応しています。プラズマクリーナーModel1020の上位機種として、コンタミの除去をより柔軟に行うことが可能となっています。

TEM用イメージングプレートスキャナーシステム Micron

イメージングプレートは理想的な電子線検出能力を持つ記録媒体で、あらゆるTEM像の取得にご利用頂けます。CCDカメラやフィルムに比べて、特に下記の用途で優れた画像が得られます。
・低電子線照射(生体または電子線に弱い試料)での画像取得
・コントラストのつきにくい試料の画像取得
・マテリアルサイエンス分野
・電子線によるディフラクションパターンの取得
Ditabis社製イメージングプレートスキャナーシステムMicronは、イメージングプレートに書き込まれた電子線 情報を読み取り、画像を作成するためのスキャナーシステムです。イメージングプレート上の情報を劣化させる ことなく、極めて高画質の画像を取得することが可能です。

1軸 トモグラフィーホルダー Model2020

標準的な、TEM用の電子線トモグラフィーホルダーです。次のような特徴を持ちます。

  • ・一軸傾斜、傾斜角度:±80°
  • ・視野:最大1.6mm (70°傾斜時)
  • ・試料サイズ:φ3mm、試料厚さ:250um(最大)
  • ・解像度:0.34nm(全方位)
  • ・セルフセンタリングサポートが試料を所定の位置に的確に配置
  • ・両持ちクランピング方式により試料を均一な力でにクランピング

ウルトラナローギャップトモグラフィーホルダー Model2030

ポールピースギャップが狭い(3mm以下)超高解像度電子顕微鏡に適した、電子線トモグラフィーホルダーです。次のような特徴を持ちます。

  • ・一軸傾斜、傾斜角度:±90°
  • ・視野:ホルダーによる制限なし
  • ・試料サイズ:1.5mm 角またはφ1.5mm、試料厚さ100um(最大)
  • ・解像度:0.34nm(全方位)
  • ・ポールピースギャップが狭い(3mm 以下)超高解像度電子顕微鏡観察に最適
  • ・片持ちクランピング方式

2軸 トモグラフィーホルダー Model2040

超高精密な面内回転機構を持つ電子線トモグラフィーホルダーです。次のような特徴を持ちます。

  • ・平面上の超高精度回転(360°)が可能
  • ・一軸傾斜、傾斜角度:±70°
  • ・視野:最大950um (70°傾斜時)
  • ・試料サイズ:φ3mm、試料厚さ:100um(最大)
  • ・解像度:0.34nm(全方位)
  • ・ポールピースギャップが5mm程度の電子顕微鏡に対応
  • ・環状のスプリングクランピング方式により均一で確実なクランピングを実現
  • ・面内の2ポジション90°精密インデクシングが可能

モーター駆動2軸 トモグラフィーホルダー Model2045

モーター駆動の面内回転機構を持つ電子線トモグラフィーホルダーです。次のような特徴を持ちます。

  • ・平面上の超高精度回転(360°)が可能
  • ・一軸傾斜、傾斜角度:±70°
  • ・視野:最大950um (70°傾斜時)
  • ・試料サイズ:φ3mm、試料厚さ:100um(最大)
  • ・解像度:0.34nm(全方位)
  • ・モーター駆動による高いスループット
  • ・ポールピースギャップが5mm程度の電子顕微鏡に対応
  • ・環状のスプリングクランピング方式により均一で確実なクランピングを実現
  • ・面内の2ポジション90°精密インデクシングが可能

軸回転トモグラフィーホルダー Model2050

棒状または円錐状試料の観察に適した、軸回転タイプの電子線トモグラフィーホルダーです。次のような特徴を持ちます。

  • ・一軸傾斜、傾斜角度:360°
  • ・試料サイズ:
  • 1.8mm カートリッジ:ベース直径1mmφ以下、長さ20 ㎜以下の棒状または円柱状試料
  • 1mm カートリッジ:棒状または円柱状試料をポストの先端に接着
  • ・解像度:0.34nm(全方位)
  • ・棒状または円錐状試料のトモグラフィーに最適
  • ・FIB で作成した試料やアトムプローブ電解イオン顕微鏡(APFIM)用の試料に最適

クライオトランスファートモグラフィーホルダー Model2550

低温電子顕微鏡観察用の試料を、低温下で移動・観察する為の電子線トモグラフィーホルダーです。次のような特徴を持ちます。

  • ・一軸傾斜、傾斜角度:±80°
  • ・試料グリッドサイズ:φ3mm
  • ・視野:2mm (0°傾斜時)
  • ・解像度:最大0.18nm(0°傾斜時)
  • ・冷却温度:-175℃以下
  • ・デュワーサイズ:200ml
  • ・冷却時間:4 時間以上

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