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科学機器・機材

電子顕微鏡用装置

FIB後処理用イオンミリング装置 ナノミル Model1040

FIB(集束イオンビーム)により作製されたTEM試料に対する、後処理用ミリング装置です。FIBを用いて試料を作製すると、表層のアモルファス化やガリウムの注入を生じることが多くあり、このようなダメージ層は10nm~30nmになることもあります。ナノミルは、このよなダメージ層の除去に最適な装置です。SED(2次電子検出器)により試料の画像を取得し、目的のスポットのみをピンポイントでイオンミリング出来ますので、リデポ(再堆積)の発生も防げます。

TEM用イオンミリング装置 TEM Mill Model1051

高品質・高精度な透過型電子顕微鏡(TEM)用試料を作製するためのイオンミリング装置です。2つのイオン源を装備しており、それぞれの電圧・電流は独立して制御を行うことも可能です(プレミアムバージョン)。ミリング角度は-10度~+10度の範囲で任意に変更できるため、低角ミリングにより試料へのダメージを最小限に抑えられます。液体窒素による冷却システムの搭載も可能で、温度によるダメージを受けやすい試料のミリングにも適しています。ロードロック機構により、試料の交換を素早く行えます。

SEM用イオンミリング装置 SEM Mill Model1061

ダメージのない高品質な走査型電子顕微鏡(SEM)用試料を作製するためのイオンミリング装置です。2つのイオン源を装備しており、2方向からの効率ミリングが可能です。サンプル位置の自動検出機能を搭載しており、あらゆる高さのサンプルに対してステージ位置を自動調整します。加速電圧、フォーカス、ミリング角度の調整により、あらゆるサンプル、あらゆる用途に柔軟に対応し、ロードロック機構により、試料の交換も素早く行えます。

自動サンプル前処理システムASaP Model1030

走査型電子顕微鏡(SEM)用の試料を作製する際に必要な4つの機能、1.プラズマクリーニング、2.イオンビームエッチング、3.反応性イオンエッチング、4.スパッタリングコーティングを一台に収めた装置です。プラズマクリーニングは、試料から有機物によるコンタミネーションを除去する機能です。イオンビームエッチングは試料表面の欠陥を除去し、平坦化する機能です。反応性イオンエッチングは試料に含まれる特定の成分を選択的にエッチングする機能です。スパッタリングコーティングは、様々なターゲットにイオンビームを当てて、試料表面をそのターゲットでコーティングします。一連の工程を同一装置内で行うことで、試料作製の効率を上げることが可能になります。

ツインジェット電解研磨装置 Model110

透過型電子顕微鏡(TEM)で導電性の試料を観察する場合、電解研磨装置を用いることが最も効率的です。ツインジェット電解研磨装置は、対になった電解質溶液の流れが試料の両面を均等に研磨し、アーチファクトのない薄片試料を数分間で作製します。電解質溶液の流れ、研磨電圧、終了検知感度、試料位置などの設定事項は、容易に変更が可能です。

超音波ディスクカッター Model170

超音波ディスクカッターは、ダメージを与えずに、硬くて脆い試料から透過型電子顕微鏡(TEM)用試料を切り出す装置です。厚さ10mm程度の試料から、円板状の標本を切り出すことや、ある大きさを持った固まりから長さ10mm以下の円柱試料を切り出すこと、あるいはXTEM用試料を作製する際に使用される四角形のウェハーを切り出すことが出来ます。

超精密ディンプリンググラインダー Model200

透過型電子顕微鏡(TEM)用の薄片試料を作製するための機械研磨装置です。グラインディングホイールと試料ステージの双方を回転させることで、試料の中心部分のみを数μmの厚さまで研磨することが可能です。ディンプリンググラインダーで試料をある程度まで薄くすることにより、イオンミリングを行う時間を短縮することが出来ます。試料作製の最終段階としてイオンミリング装置を使用する場合には、必要不可欠な装置です。

コンタミネーション除去装置 プラズマクリーナー Model1020

電子顕微鏡用の試料およびホルダーから、有機物による汚染物質(コンタミ)を除去します。低エネルギーの反応性プラズマの働きにより、試料の組成や性質を変えることなく、有機物質のみを除去することが可能です。プラズマクリーナーをごく短時間使用するだけで、コンタミのないクリーンな試料を得ることが出来ます。

コンタミネーション除去装置 ナノクリーン Model1070

電子顕微鏡用の試料およびホルダーから、有機物による汚染物質を除去します。低エネルギーの反応性プラズマの働きにより、試料の組成や性質を変えずに、有機物質のみを除去することが可能です。2つのホルダーの同時挿入、半導体ウェハーのような大型試料の処理にも対応しています。プラズマクリーナーModel1020の上位機種として、コンタミの除去をより柔軟に行うことが可能となっています。

トモグラフィー試料ホルダー Model2000シリーズ

トモグラフィー試料ホルダーを使用して透過型電子顕微鏡(TEM)試料を撮影することにより、3次元画像を得ることが可能となります。高角度までチルトを行うことが可能なため、複雑な試料の撮影にも適しています。1軸回転用、2軸回転用、軸への直接取付用などさまざまな種類のトモグラフィー試料ホルダーを取り揃えております。

TEM用イメージングプレートスキャナーシステム Micron

イメージングプレートは理想的な電子線検出能力を持つ記録媒体で、あらゆるTEM像の取得にご利用頂けます。CCDカメラやフィルムに比べて、特に下記の用途で優れた画像が得られます。
・低電子線照射(生体または電子線に弱い試料)での画像取得
・コントラストのつきにくい試料の画像取得
・マテリアルサイエンス分野
・電子線によるディフラクションパターンの取得
Ditabis社製イメージングプレートスキャナーシステムMicronは、イメージングプレートに書き込まれた電子線 情報を読み取り、画像を作成するためのスキャナーシステムです。イメージングプレート上の情報を劣化させる ことなく、極めて高画質の画像を取得することが可能です。

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