株式会社 ニューメタル エンド ケミカルス コーポレーション

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科学機器・機材

電子顕微鏡用装置

TEM用イオンミリング装置 NanoMill System Model1040

高品質・高精度な透過型電子顕微鏡（TEM）用試料を作製するためのイオンミリング装置です。電解型レンズを搭載したフィラメントタイプのイオン源を採用し、超低エネルギーのイオンビームでも、広がりのないシャープなビームが得られます。SED（2次電子検出器）により試料の画像を観察しながらミリングが行えますので、目的のスポットのみをピンポイントでイオンミリングすることが可能です。FIBの後処理や、従来のイオンミリングでは除去しきれなかったコンタミの除去に最適な一台です。

TEM用イオンミリング装置 TEM Mill Model1050

高品質・高精度な透過型電子顕微鏡（TEM）用試料を作製するためのイオンミリング装置です。2つのイオン源を装備しており、それぞれの電圧・電流は独立して制御を行うことも可能です（プレミアムバージョン）。ミリング角度は-10度〜+10度の範囲で任意に変更できるため、低角ミリングにより試料へのダメージを最小限に抑えられます。液体窒素による冷却システムの搭載も可能で、温度によるダメージを受けやすい試料のミリングにも適しています。ロードロック機構により、試料の交換を素早く行えます。

SEM用イオンミリング装置 SEM Mill Model1060

高品質・高精度な走査型電子顕微鏡（SEM）用試料を作製するためのイオンミリング装置です。2つのイオン源を装備しており、それぞれの電圧・電流は独立して制御を行うことも可能です（プレミアムバージョン）。サンプル位置を自動検出する機能を搭載しており、常に最適な位置でのイオンミリングが可能です。ミリング角度は0度〜10度の範囲で任意に設定出来ます。液体窒素による冷却システムの搭載も可能で、温度によるダメージを受けやすい試料のミリングには最適です。ロードロック機構により、試料の交換を素早く行えます。

自動サンプル前処理システムASaP Model1030

走査型電子顕微鏡（SEM）用の試料を作製する際に必要な４つの機能、1.プラズマクリーニング、2.イオンビームエッチング、3.反応性イオンエッチング、4.スパッタリングコーティングを一台に収めた装置です。プラズマクリーニングは、試料から有機物によるコンタミネーションを除去する機能です。イオンビームエッチングは試料表面の欠陥を除去し、平坦化する機能です。反応性イオンエッチングは試料に含まれる特定の成分を選択的にエッチングする機能です。スパッタリングコーティングは、様々なターゲットにイオンビームを当てて、試料表面をそのターゲットでコーティングします。一連の工程を同一装置内で行うことで、試料作製の効率を上げることが可能になります。

ツインジェット電解研磨装置 Model110

透過型電子顕微鏡（TEM）で導電性の試料を観察する場合、電解研磨装置を用いることが最も効率的です。ツインジェット電解研磨装置は、対になった電解質溶液の流れが試料の両面を均等に研磨し、アーチファクトのない薄片試料を数分間で作製します。電解質溶液の流れ、研磨電圧、終了検知感度、試料位置などの設定事項は、容易に変更が可能です。

超音波ディスクカッター Model170

超音波ディスクカッターは、ダメージを与えずに、硬くて脆い試料から透過型電子顕微鏡(TEM)用試料を切り出す装置です。厚さ10mm程度の試料から、円板状の標本を切り出すことや、ある大きさを持った固まりから長さ10mm以下の円柱試料を切り出すこと、あるいはXTEM用試料を作製する際に使用される四角形のウェハーを切り出すことが出来ます。

超精密ディンプリンググラインダー Model200

透過型電子顕微鏡（TEM）用の薄片試料を作製するための機械研磨装置です。グラインディングホイールと試料ステージの双方を回転させることで、試料の中心部分のみを数μｍの厚さまで研磨することが可能です。ディンプリンググラインダーで試料をある程度まで薄くすることにより、イオンミリングを行う時間を短縮することが出来ます。試料作製の最終段階としてイオンミリング装置を使用する場合には、必要不可欠な装置です。

コンタミネーション除去装置　プラズマクリーナー Model1020

電子顕微鏡用の試料およびホルダーから、有機物による汚染物質（コンタミ）を除去します。低エネルギーの反応性プラズマの働きにより、試料の組成や性質を変えることなく、有機物質のみを除去することが可能です。プラズマクリーナーをごく短時間使用するだけで、コンタミのないクリーンな試料を得ることが出来ます。

コンタミネーション除去装置　ナノクリーン Model1070

電子顕微鏡用の試料およびホルダーから、有機物による汚染物質を除去します。低エネルギーの反応性プラズマの働きにより、試料の組成や性質を変えずに、有機物質のみを除去することが可能です。2つのホルダーの同時挿入、半導体ウェハーのような大型試料の処理にも対応しています。プラズマクリーナーModel1020の上位機種として、コンタミの除去をより柔軟に行うことが可能となっています。

トモグラフィー試料ホルダー Model2000シリーズ

トモグラフィー試料ホルダーを使用して透過型電子顕微鏡（TEM）試料を撮影することにより、3次元画像を得ることが可能となります。高角度までチルトを行うことが可能なため、複雑な試料の撮影にも適しています。１軸回転用、2軸回転用、軸への直接取付用などさまざまな種類のトモグラフィー試料ホルダーを取り揃えております。

TEM用イメージングプレート（IP）システム

透過型電子顕微鏡（TEM）用のイメージングプレート及びスキャナーのシステムです。CCDカメラに比べて高感度で、広いダイナミックレンジが得られます。また読み取り画素数が大きく、且つ有効画角サイズも広く技術的信頼度が高いシステムです。価格がCCDカメラに比べ半値以下と非常に廉価です。

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